金融界 2025 年 1 月 31 日动静,国度学问产权局音讯显示,浚辅科技股份有限公司申请一项名为“具惊动侦测及影像辨识的呆板手臂”的专利,公然号 CN 119381309 A,申请日期为 2023 年 7 月。
专利摘要显示,本出现为相闭 一种具惊动侦测及影像辨 识的呆板手臂,首要机闭包含一晶圆搬运装配、一枢设于晶圆搬运装配上的 呆板手臂、一设于呆板手臂上的影像撷取装配、起码一设于呆板手臂上的第一惊动传感器、一设于晶圆搬运装配内的第二惊动 传感器、及一设于晶圆搬运装配一侧的监控装配,且监控装配蕴涵有一资讯 团结影像撷取装配的状况 检测部、及一资讯团结第一惊动传感器与第二惊动传感器的惊动检测部。藉上述机闭, 使呆板手臂兼具晶圆积聚状况检测、碰撞感测、及寿命预测等 性能,而避免呆板机闭行动不稳与检测偏差的成分互相影响, 进而擢升转移及推断精准度。